瑞红苏州申请一种正型高分辨率光刻胶专利形成较高分辨率图形的光刻胶
金融界2024年9月10日消息,天眼查知识产权信息显示,瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司申请一项名为“一种正型高分辨率光刻胶及其制备方法“,公开号CN1.7,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请属于光刻胶材料技术领域,具体涉及一种正型高分辨率光刻胶及其制备方法。一种正型高分辨率光刻胶,包括以下重量份的原料:可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂80‑95份、改性酚醛树脂10‑21份、重氮类感光剂2‑5份、有机溶剂130‑165份;所述可酸脱保护的丙烯酸脂共聚树脂为羟基苯乙烯‑异戊二烯‑甲基丙烯酸异冰片酯共聚物。本申请中的一种正型高分辨率光刻胶,可以形成较高分辨率图形的光刻胶;即兼具较高的分辨率以及优异的抗干刻性能,可推广光刻胶的应用范围。