FusionScope多功能显微镜-Quantum Design-新品

　　在多数情况下，为确认不同参数之间的相关性，样品分析通常使用多种技术手段。对于AFM和SEM成像技术而言，这意味着在实际操作中需要对相同的区域进行对比分析。2022年10月，美国Quantum Design公司重磅推出，将SEM和AFM技术融合在一台设备上。用户不需要将样品从一台显微镜移动到另一台显微镜，也不必使用两个不同的操作系统来分析样品上的同一位置，而是在

　　同一用户界面内、同一位置进行互补性综合测量。FusionScope多功能显微镜提供了带有SEM功能的原子力显微镜的所有优点。它能够实现标准AFM的测量模式，包括接触、动态和FIRE模式（Finite Impulse Response Excitation ）。只需单击按钮，即可在亚纳米分辨率下切换AFM和SEM成像模式，并获取所需的数据。通过更换悬臂，AFM可轻松实现高级工作模式，例如力曲线、导电原子力显微镜（C-AFM）和磁力显微镜（MFM）。

　　，可以在扫描电镜中对样品进行元素和化学分析，在纳米及微米尺度上收集更准确的数据。结合已有的AFM/SEM，使测量更加多功能化。FusionScope多功能显微镜优势

　　★  多种AFM功能与SEM原位联用，极大程度上发挥出两种常用显微镜的技术优势，实现同一时间、同一样品区域和相同条件

　　★利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖，从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品，原位进行80°AFM与样品台同时旋转。

　　利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖，从而实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品，原位进行80° AFM与样品台同时旋转。

　　FusionScope的创新功能之一是剖面成像，即在测量时可以实时观察AFM悬臂的针尖。通过这种剖面工作方式，即使是难以到达的样品区域也可以用AFM探针非常精确地接近，从而测量形状复杂的样品。

　　自感应悬臂功能也十分丰富，可以提供更多测量功能，如电导率、磁性、表面电位、温度及其他样品特征。自感应悬臂采用聚焦电子束诱导沉积（FEBID）工艺制备，针尖半径小于10 nm，保证了高分辨率导电或磁性成像，并具有出色的机械稳定性。

　　FusionScope可以针对感兴趣的区域进行结构、机械、电学、磁学和化学性质分析，实现对样品的全方位表征。

　　得益于其简单的软硬件操作及一目了然的操作流程，FusionScope可快速完成电子或半导体器件的失效分析及质量控制。

　　原子力显微镜很难测量非常尖锐的样品几何形状，比如刀片的针尖位置，而FusionScope解决了这一难题。利用SEM可以精准定位样品区域，并实时监测AFM位置和测量结果。

　　对于AFM用户来说，纳米结构的精确定位和分析是一项具有挑战性且耗时的工作，近年来晶体管尺寸的减小对质量控制和失效分析也提出了更高的要求。借助FusionScope及其剖面成像功能，用户可以轻松地将悬臂针尖定

　　位至感兴趣的区域，并对样品进行高分辨率 AFM 分析、亚纳米级分辨率3D形貌测量、导电 AFM测量等。

　　从纳米机电传感器及光学器件的许多应用研究中，二维材料的独立悬浮膜引起科学家的极大兴趣。其表征大多依赖于扫描探针显微镜技术，如原子力显微镜（AFM）。然而，与刚性样品不同，悬浮的2D原子级薄膜是柔性的，在AFM测量过程中会受到机械干扰，这可能导致实验结果的偏差。FusionScope可以通过在实时观测膜变形来规避这些缺点，从而更好地获取AFM数据。

　　FusionScope可以准确、轻松地获取生物样品的纳米级形貌，特别是对于难以触及的或非常小的样品区域，实现高精度物性表征，如3D形貌，刚度和粘附力等…

　　对难以触及的样品区域，进行SEM/AFM分析非常有挑战，比如骨组织的分析，特别是骨表面的空隙和胶原纤维的详细测量。FusionScope可以对空隙结构进行快速简便的识别和成像。通过SEM的大视野识别空隙，并可将悬臂直接定位在空隙结构上，然后通过AFM实现亚纳米分辨率的空隙和胶原纤维的线D形貌。

　　‍‍‍静态模式（接触模式）‍‍‍‍‍在静态模式或接触模式下，针尖与样品表面连续接触，针尖针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力。当针尖轻轻扫过样品表面时，接触的力量引起悬臂弯曲，进而得到样品的表面图像。

　　动态模式‍‍动态模式，也称为间歇性接触或Tapping模式，悬臂在其谐振频率附近振荡。当探针靠近表面时，探针和样品之间的相互作用导致振荡幅度发生变化。当悬臂扫描样品时，调整高度以保持设定的悬臂振荡幅度，进行AFM成像。

　　FIRE模式是一种新型的、间歇性接触AFM技术。FIRE模式基于在高于驱动频率、但低于悬臂共振频率的频域中，对悬臂信号进行检测，得到样品刚性与粘附力信息。

　　静电力显微镜（EFM）‍‍静电力显微镜（EFM）是一种相位成像技术，通过测量样品衬底电场的成像变化，从而研究表面电位和电荷分布。

　　磁力显微镜‍‍磁力显微镜（MFM）是一种相位成像模式，通过使用磁性AFM探针来研究磁性材料的性质。

　　使用聚焦电子束，FusionScope可以实现样品表面的高分辨率成像。凭借其高灵敏度的SE模式，FusionScope可以在几纳米级别获得形貌信息。

　　★ FusionScope可以从毫米级到纳米级进行扫描，因此易于定位，且具有非常的高分辨率；

　　★ 快速分析功能，广泛应用于生物和医学科学、陶瓷、质量控制、失效分析、法医学调查、生命科学和半导体检测等应用领域。

　　Quantum Design自主研发的FusionScope多功能显微镜，开创性地将扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)两种技术无缝融合在一台设备上。无需移动样品或切换操作系统，快速完成在同一用户界面内、同一空间位置的 SEM 和 AFM 的互补性综合测量，避免了样品转移过程中的污染风险。SEM可提供精准样品视野信息，为AFM扫描提供直观的目标区域，实现原位的动态观测。FusionScope独创的剖面成像功能，可在-10-80°范围内实现样品台旋转，实时观察AFM针尖探测过程，无视野盲区，形状复杂样品的表征也能轻松应对！FusionScope把SEMAFM 和AFMSEM 对样品的表面结构，力学性能，电磁学等表征推向了更宽广的无限可能！ 二者的强强联合，同时解决了SEM信息结果单一，AFM扫描下针位置不清晰两大难题，为复杂形貌样品的表面力学性能探测提供了完善的解决方案，可视化的AFM探针扫描过程，能够为用户带来直观的测样体验。